壓力傳感器 參考文獻:關于壓力傳感器的標定的參考文獻

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壓力傳感器 參考文獻:關于壓力傳感器的標定的參考文獻

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壓力傳感器 參考文獻:關于壓力傳感器的標定的參考文獻  第1張

壓力傳感器 參考文獻:壓力傳感器文獻綜述1

壓力傳感器文獻綜述
?
?
?
摘要:
傳感器技術是綜合多種學科的復合型技術,
是一門正在蓬勃發展的現代化
傳感器技術。
本文通過部分文獻資料對壓力傳感器的發展過程、
研究現狀和發展
趨勢做一簡要介紹。
?
關鍵詞:壓力;傳感器;
?
1?
壓力傳感器的發展歷程
?
現代壓力傳感器以半導體傳感器的發明為標志
,
而半導體傳感器的發展可以
分為四個階段
(1)?
發明階段
(1945?-?1960?

)?:
這個階段主要是以
1947?
年雙極
性晶體管的發明為標志。此后
,
半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯

1945?
發現了硅與鍺的壓阻效應
?,
即當有外力作用于半導體材料時
,
其電阻將
明顯發生變化。依據此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上
,
即將力信號轉化為電信號進行測量。此階段最小尺寸大約為
1cm
。
(2)
技術發
展階段
(1960?-?1970?

)?:
隨著硅擴散技術的發展
,
技術人員在硅的
(001)?

(110)?
晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻擴散在晶面上
,
然后在背面加工成凹

,
形成較薄的硅彈性膜片
,
稱為硅杯。
這種形式的硅杯傳感器具有體積小、
重量
輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優點
,
實現了金屬
-?
硅共晶體
,
為商業化發展提供了可能。
(3)?
商業化集成加工階段
(1970?
-?
1980?

)?
:
在硅杯
擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術
,
擴散硅傳感器其加工工藝以
硅的各項異性腐蝕技術為主
,
發展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工
技術
,
主要有
V?
形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自
動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕
,
數千個硅壓力膜可以同時生產
,
實現了集成化的工廠加工模式
,
成本進一步降低。
(4)?
微機械加工階段
(1980?

-?

)?
:
上世紀末出現的納米技術
,
使得微機械加工工藝成為可能。
通過微機械加工
工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器
,
其線度可以控制在微米級范
圍內。利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜
,
使得壓力傳感器進入
了微米階段。
?
2?
壓力傳感器國內外研究現狀
傳感器是新技術革命和信息社會的重要技術基礎,是現代科技的開路先鋒。
美、日、英、法、德和獨聯體等國都把傳感器技術列為國家重點開發關鍵技術之
一。
美國長期安全和經濟繁榮至關重要的
22
項技術中就有6項與傳感器信息處理
技術直接相關。
關于保護美國武器系統質量優勢至關重要的關鍵技術,
其中8項
為無源傳感器。
。
正是由于世界各國普遍重視和投入開發,
傳感器發展十分迅速。
目前,我國傳感器行業規模較小,應用范圍較窄。為此,我們亟須轉變觀念,將
傳感器的研發由單一型傳感器的研發,
轉化為高度集成的新型傳感器研發。
新型
傳感器的開發和應用已成為現代系統的核心和關鍵,
它將成為
21
世紀信息產業新
的經濟增長點。
改革開放
30
年來,
我國傳感器技術及其產業取得了長足進步,

要表現在:建立了傳感技術國家重點實驗室、微米
/
納米國家重點實驗室、國家
傳感技術工程中心等研究開發基地;
MEMS
、
MOEMS
等研究項目列入了國家高新技
術發展重點;在“九五”國家重科技攻關項目中,傳感器技術研究取得了
51
個品
壓力傳感器 參考文獻:關于壓力傳感器的標定的參考文獻  第2張

壓力傳感器 參考文獻:參考文獻 (電子秤,壓力傳感器)

[1] 盛碧琦、胡云琴、應忠于,基于 AVR單片機的定量稱重系統設計[J],工業儀表與自動化裝置,2015.(5):59-61.

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[3] 李康、左謹平、金三梅,基于AVR單片機高精度電子秤設計[J],電子技術,2011. 38(7):28-29.

[4] 范俊剛,基于單片機的含計數功能的智能電子天平的研發[D],天津科技大學,2010.

[5] 蔡冠玉,基于MSC1210單片機的稱重系統[J].江蘇工業學院學報,2006.18(4):53-55.

[6] 冀亮、金京林,基于HC08單片機的電子稱重系統設計[J],天津工業大學學報,2006. 25(4):74-76.

[7] 潘佑華,林盛鑫.基于51單片機的多功能電子秤設計研究[J],科技傳播,2012(11).

[8] 薛均義,張彥斌.《MCS-516系列單片微型計算機及應用》[M].西安交通大學出版社,2012

[9] 黃繼昌.《傳感器工作原理及應用實例》[M].人民郵電出版社,2013

[10] 郭永貞. 《數字電子技術》[M]. 西安電子科技大學出版社 2011

[11] 楊金巖等.《8051單片機數據傳輸接口擴展技術與應用實例》[M]人民郵電出版社,2013

[12] 徐瑋.51單片機實現自動控制[J].電子制作,2010第(11)期:15

[13] 沙愛軍.單片機控制系統的研究與設計[J].北京:電子科技,2009(11)

[14] 張洪潤 《電子線路與電子技術》[M].清華大學出版社,2011

[15]楊志忠等.電子技術課程設計[M].北京:機械工業出版社,2008.6

[16]譚浩強. C程序設計(第三版)[M].清華大學出版社,2007.1

[17]張彥斌. MCS-51系列單片微型計算機及其應用[M]. 西安交通大學出版社, 2005.

[18]芮延年.傳感器與檢測技術.蘇州大學出版社 2005

[19] J Zhao. Design of High-precision Weighing System Based on Single-chip Micro-computer [J].Electronic Technology, 2009.

[20] WN Han, P Yu, QL Li. Design of Grating Displacement Measuring System Based on Single Chip Micro-computer[J].Applied Mechanics & Materials, 2013.389:606-611.

[21] J Tao, GF Xiao, QD Chi. Design of ultrasonic wave distance measuring system based on AT89C52 single-chip microcomputer[J].Electronic Design Engineering, 2012.
【轉載請注明出處:壓力傳感器 參考文獻:關于壓力傳感器的標定的參考文獻  第3張

壓力傳感器 參考文獻:智能壓力傳感器參考文獻

智能壓力傳感器參考文獻

介紹:本頻道是與壓力傳感器和參考文獻和智能有關的范例,免費教你如何寫壓力傳感器參考文獻提供相關參考文獻資料。

參考文獻起訖序號間的標志符號應為

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參考文獻序號在引文標注中的正確位置在哪兒

問 文獻序號在引文標注中的正確位置在哪兒? 答 參考文獻序號在引文標注中的位置比較復雜,應區別情況做不同處理。大致有如 下幾種情形。1)文獻。

參考文獻頁碼著錄規范

摘要:參考文獻的頁碼著錄是一個現實而又嚴肅的問題。目前各類規范規定不僅本身相互不一致,而且實踐中各出版單位對頁碼著錄的執行標準也不一致,這就造成。

畢業論文參考文獻的規范性

[摘 要]參考文獻是畢業論文的一個重要組成部分,參考文獻的規范性是反映作者的寫作態度是否嚴謹的重要標準,本文以湖南第一師范學院教育科學學院201。

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